氣體質量流量控制器的應用原理和簡單參數說明

氣體質量流量控制器同標準控制器一樣， 能對需要較高管線壓力的應用環境進行控制響應，可較快達到新的設定值，并保持該設定值，即使在壓力突然增加的情況下，也不會影響正常性能。。其主要特點有：監控流速的同時控制壓力，可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用氣體編輯器確定自己的氣體組成。
       氣體質量流量控制器的連接類型較多，可以利用以太網/IP、EtherCAT 、DeviceNet、 Profibus、 Modbus (RTU和TCP/IP)或串行通訊選項。因此該款儀表可以整合到多種應用設備匯總。氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動，并且使用壽命較長。為保證對環境影響的耐受性，的MFC構建可達到IP66等級防護。
       可用量程Z大0-5000 slpm，Z小0-10 sccm；可調比: 50:1；校準精度(NIST可溯源) : +2%滿量程；可重復性: 0.2%滿 量程；標準控制器響應時間常數: 50-100ms
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