熱分布式質(zhì)量流量控制器，采用的傳感器部分由一個加熱器和兩個測溫元件構(gòu)成，加熱元件布置在管道中間并進(jìn)行恒功率加熱，兩個測溫元件對稱布置在加熱元件的上下游測量管壁溫度。 當(dāng)流速為零時，加熱元件兩端溫度分布相。當(dāng)流速不為零時，流體流動將上游管壁的熱量傳輸?shù)较掠喂鼙?，從而改變管壁的溫度分布?br /> 熱分布式質(zhì)量流量控制器可測微小流速且分辨率高，傳感器安裝在管道上且與流體不接觸，避免了流體的壓力損失。在此基礎(chǔ)上，改進(jìn)發(fā)展出毛細(xì)管式熱式質(zhì)量流量控制器投入應(yīng)用，在其主管道附近增加了一個直徑小的旁路管道，傳感器安裝在此旁路管道上，一部分被測介質(zhì)通過旁路進(jìn)行流動并改變此旁路的溫度分布
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