熱分布式質量流量控制器，采用的傳感器部分由一個加熱器和兩個測溫元件構成，加熱元件布置在管道中間并進行恒功率加熱，兩個測溫元件對稱布置在加熱元件的上下游測量管壁溫度。 當流速為零時，加熱元件兩端溫度分布相。當流速不為零時，流體流動將上游管壁的熱量傳輸到下游管壁，從而改變管壁的溫度分布。
熱分布式質量流量控制器可測微小流速且分辨率高，傳感器安裝在管道上且與流體不接觸，避免了流體的壓力損失。在此基礎上，改進發展出毛細管式熱式質量流量控制器投入應用，在其主管道附近增加了一個直徑小的旁路管道，傳感器安裝在此旁路管道上，一部分被測介質通過旁路進行流動并改變此旁路的溫度分布
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