羅茨泵也分粗真空使用的濕式羅茨真空泵、氣冷式羅茨真空泵,中高真空作為機械增壓泵使用的干式羅茨真空泵以及多級羅茨真空泵。
無法單獨啟動的只是中高真空中使用的羅茨真空泵。簡單的說,就是因為粗真空下使用,壓差過大會使羅茨真空泵過熱,導致膨脹卡死、電機燒毀,因此中高真空下的羅茨泵必須配備前級泵使用。而濕式及氣冷式羅茨泵的間隙設計以及冷卻設計作了針對處理,降低了真空性能換來了可直排大氣的效果;多級羅茨泵采用多級設計,抽速由第一級確定,也可以單獨使用。
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