設(shè)備二維材料制備CVD系統(tǒng)特點(diǎn):此款CVD系統(tǒng)前端配有可加熱到400℃的預(yù)加熱器,輔助二維材料蒸發(fā),后端為雙溫區(qū)管式爐,溫度控制精確,操作簡(jiǎn)便。并配質(zhì)量流量計(jì)系統(tǒng)和真空系統(tǒng),可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力和氣體流量,對(duì)于做低壓CVD實(shí)驗(yàn)非常實(shí)用,重復(fù)性好。
二維材料制備CVD系統(tǒng)
硫粉預(yù)熱器 |
工作溫度:400℃ z高溫度:1200℃ z快升溫速率:≤30℃/min 推薦升溫速率:10℃/min 控溫方式:智能化30段可編程控制 工作電壓:AC220V 額定功率:800W 控溫精度:±1℃ 加熱元件:電阻絲 |
加熱區(qū)參數(shù)
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額定功率:5kw z高溫度:1200℃ 工作溫度:1100℃ z大升降溫速率:≤30℃/min 爐管尺寸:高純度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100x1650mm (管徑可選) 加熱區(qū)長(zhǎng)度:200+200mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:290mm 控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能。 標(biāo)準(zhǔn)配件:石英管1支,莫來(lái)石管堵2對(duì),不銹鋼法蘭1套,硅膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支; 尺寸:約 550×380×600 mm(爐子) 約:1700×380×620 mm(爐子+滑軌) 可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。 |
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