雙極板材料四探針低電阻率測試儀

四探針低電阻率測試儀標準電阻;按表2的薄層電阻范圍選取所需的標準電，精度0.05 級
用干凈涂題顆子或吸筆將試樣置于樣品臺上，試樣放置的時間應(yīng)足夠長，達到熱平衡時，試樣溫度為23 ℃±1℃.
器）以實現(xiàn)精準測量。品牌與認證符合行業(yè)標選擇通過國家或國際認證的儀器（如符合GB/T標
測量特殊形狀或尺寸的樣品（如扁鋼接地體），需搭配專用取樣器（如半導(dǎo)電橡塑電阻儀取樣
提升測量準確性，尤其適用于微電阻或高阻值測量場景。相較傳統(tǒng)兩線法或兆歐表，四線法更
GB/T 6617-1995 硅片電阻率測定 擴展電阻探針法-2004）。
光照、高頻、需動、強電磁場及溫醒度等測試環(huán)境會影響測試結(jié)果，
提供完整的技術(shù)支持和售后服務(wù)，保障儀器的長期穩(wěn)定使用。操作與維護便利性人機交互設(shè)計
電導(dǎo)率：5×10-6～1×108ms/cm
電流換向開關(guān)
干擾因素探什材料和形狀及其和硅片表面接觸是否滿足點電流源注人條件會影響測試精度。 
電流輸出：直流電流?0～1000mA?連續(xù)可調(diào)，由交流電源供電。
度或功能。實驗室場景優(yōu)先選擇，通常具備更高精度和擴展功能（如多檔位電流調(diào)節(jié)）。若需
四探針低電阻率測試儀電源：220±10% 50HZ/60HZ 
探針（帶有彈簧及外引線）之間或探針系統(tǒng)其他部分之間的絕緣電照至少為10°Ω. 探針排列和間距，四探針應(yīng)以等距離直線排列，探針閥距及針突狀況應(yīng)符合 GB/T 552中的規(guī)定。
主機外形尺寸：330mm*340mm*120mm
器類型與便攜性1.手持式 vs 臺式手持式：適合現(xiàn)場快速檢測，便攜性強，但可能犧牲部分精
置溫度補償功能，可減少溫度變化對電阻值的影響。數(shù)據(jù)存儲與顯示支持數(shù)字顯示、數(shù)據(jù)存儲
考慮廠商技術(shù)支持能力，注意事項誤差來源：粉末壓實度、模具清潔度、環(huán)境溫濕度均可能影響結(jié)果，需規(guī)范操作流程。校準維護定期使用標準電阻校準（如 1-5 個標準電阻選配），確保長期穩(wěn)定性。
分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV
電阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、
本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電導(dǎo)率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測試儀自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成圖表和報表。
GB/T 6617-2009 硅片電阻率測定 擴展電阻探針法
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、壓強值、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.
參考回路電阻測試儀的選型思路（如連續(xù)可調(diào)電流設(shè)計）。
，關(guān)鍵部件采用進口元件的儀器壽命更長。應(yīng)用場景擴展
行業(yè)標準：需確認儀器是否符合 YS/T 587.6-2006、GB/T 24521-2018 等標準，滿足相關(guān)炭素材料測試要求。材料類型：適用于石墨、碳素粉末、鋰電池材料、粉末冶金等導(dǎo)電或半導(dǎo)體粉末的測試。自動化與功能性  
套、電纜接管）的電阻值通常介于 \(10^{-4} \Omega \cdot \text{cm}\) 至 \(10^8 \Omega 
測量精度±（0.1%讀數(shù)）
粉體電阻率測試儀的選型需綜合考慮測量需求、材料特性、測試環(huán)境及預(yù)算等因素。以下是基于搜索結(jié)果的選型關(guān)鍵點分析及推薦：核心選型要素
于10*0.電子測量裝置適用性應(yīng)符合GB/T 1552 的規(guī)定。 歐嬌表，能指示阻值高達 10°日 的漏電阻. 溫度針o℃～40 ℃，z小刻度為0.1 ℃。
四探針低電阻率測試儀樣品臺和操針架樣品臺和探針架應(yīng)符合 GB/T152 中的規(guī)定。 樣品臺上應(yīng)具有旋轉(zhuǎn) 360"的裝置。其誤差不大于士5"，測量裝置測量裝置的典型電路叉圖1，
恒意源，按表1的推薦值提供試樣所需的電流，精度為±0.5%.
1. 測量范圍與精度電阻率范圍：多數(shù)儀器的電阻率覆蓋范圍為 (10^-7- 10^8 Omega )，部分高溫型號可達更高范圍（如 \(10^-8- 10^8 Omega）。精度要求：高精度型號的電阻率測量誤差可低至 ±0.01 μΩ·m，而經(jīng)濟型設(shè)備誤差通常為 ±0.1%～±0.3%。電流與電壓精度恒流源輸出需穩(wěn)定（如 ±0.01 mA），電壓分辨率需達 0.1 μV 以支持微小信號檢測。
主機外形尺寸：330mm*340mm*120mm
電阻：1×10-5～2×105Ω
提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內(nèi)及國外客戶需求
特性。總結(jié)建議明確被測材料的電阻范圍及測試環(huán)境，選擇匹配量程和精度的儀器優(yōu)先采用四
測量誤差±5%
250 μm 的半球形或半徑為 50 μm~125 μm 的平的圓截面。
GB/T 1552-1995 硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法
電導(dǎo)率：5×10-6～1×108ms/cm
提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內(nèi)及國外客戶需求
本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電導(dǎo)率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測試儀自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成圖表和報表。
適合半導(dǎo)電材料的精密檢測。環(huán)境適應(yīng)性儀器需在特定溫濕度條件下工作（如溫度23±2°C、
電壓表輸入阻抗會引入測試誤差。 硅片幾何形狀，表面粘污等會影響測試結(jié)果。
品牌與技術(shù)支持優(yōu)先選擇技術(shù)成熟、提供售后支持的品牌  北廣精儀儀器設(shè)備有限公司的設(shè)備
測量條件和步驟整個測試過程應(yīng)在無光照，無離頻和無振動下進行。
測試標準與適用材料 
GB/T 11073 硅片徑向電阻率變化的測量方法提要
如需進一步了解具體型號參數(shù)或供應(yīng)商信息，可參考原文鏈接或聯(lián)系廠商獲取技術(shù)文檔。
特性選擇電流檔位。例如，某些儀器提供1微安、0.1微安等多檔位輸出，避免電流過大導(dǎo)致材
測量電壓量程：?2mV?  20mV? 200mV?2V?
 若需高溫環(huán)境模擬（如半導(dǎo)體材料），優(yōu)先選擇 北廣精儀 高溫型號。關(guān)注兼容性與擴展性  
甲醇，99.5%。 干燥氮氣。測量儀器探針系統(tǒng)操針為具有45"～150°角的圓罐形破化鴨振針，針實半徑分別為35 μm~100μm.100 μm~
使用直排四探針測量裝置、使直流電流通過試樣上兩外探件，測量兩內(nèi)操針之間的電位差，引人與試樣幾何形軟有關(guān)的修正因子，計算出薄層電阻。
硬件配置與兼容性  加壓方發(fā)：液壓系統(tǒng)（進口或國產(chǎn)）影響測試穩(wěn)定性，壓力范圍需匹配材料特性（如 200 kg～1000 kg 可選）。模具規(guī)格：內(nèi)徑（10 mm 或 20 mm）和高度（25 mm）需根據(jù)樣品量調(diào)整，部分型號支持定制。電極材質(zhì)：紫銅鍍金電極可減少接觸電阻，適合高精度測試。
電阻：1×10-5～2×105Ω

誤差：±0.2%讀數(shù)±2字
量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，1000mA,?
\cdot \text{cm}\) 之間。需確保測試儀的測量范圍覆蓋實際應(yīng)用需求。例如，若需測量中高
分辨率：  0.1uV  1uV  10uV  100uV
誤差：±0.2%讀數(shù)±2字
濕度<65%），選擇時需確認其穩(wěn)定性和抗干擾能力，避免環(huán)境波動導(dǎo)致數(shù)據(jù)偏差。部分儀器內(nèi)
如2兆歐檔誤差±0.5%讀數(shù)+2字）。精度要求：高精度場景（如實驗室）需選擇誤差更小的儀器
本標準適用于測量直徑大于15.9mm的由外延、擴散、離子注人到硅片表面上或表面下形成的薄層的平均薄層電阻。硅片基體導(dǎo)電類型與被測薄層相反。適用于測量厚度不小于0.2 μm的薄層，方塊電阻的測量范圍為10A~5000n.該方法也可適用于更高或更低照值方塊電阻的測量，但其測量精確度尚未評估。
標配：測試平臺一套、主機一套、電源線數(shù)據(jù)線一套。
及導(dǎo)出功能的儀器更便于后續(xù)分析。例如，3位數(shù)字顯示屏和自動過載提示能提升操作效率。儀
化學實驗室器具，如;塑料燒杯，量杯和適用于酸和溶劑的涂塑懾子等。試樣制備如試樣表面潔凈，符合測試條件可直接測試，否則，按下列步驟清洗試樣后測試∶試樣在甲醇中源洗1min。如必要，在甲醇中多次源洗，直到被干燥的試樣無污跡為止。將試樣干燥。 放入氫氟酸中清洗1 min。 用純水洗凈。 用甲醇源洗干凈， 用氮氣吹干。
范圍本標準規(guī)定了用直排四探針測量硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的方法。
使用環(huán)境等因素。以下是關(guān)鍵選擇要點：明確測量需求測量范圍與精度半導(dǎo)電材料（如橡塑護
電位差計和電流計或數(shù)字電壓表，量程為1mV~100mV，分辨率為0.1%，直流輸入阻抗不小
直觀的菜單操作、旋轉(zhuǎn)鼠標輸入或自動量程切換功能可簡化操作流程，減少人為誤差。耐用性
測量誤差±5%
端子法的設(shè)備，確保測量準確性根據(jù)場景（現(xiàn)場/實驗室）選擇便攜式或高精度臺式儀器。核查
半導(dǎo)電材料電阻測試儀時需綜合考慮測量需求、儀器性能及
售后服務(wù)與標準認證優(yōu)先選擇提供計量證書的品牌標配計量證書），確保數(shù)據(jù)權(quán)威性。  
量程：1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，1000mA,?
GB/T 14141-2009 硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定.直排四探針法
分辨率：  z小1μΩ
準），確保安全性與可靠性。例如，部分儀器明確標注符合電力行業(yè)執(zhí)行標準（如DL/T 845.4
測量精度±（0.1%讀數(shù)）
 確認儀器是否支持選配模具或傳感器（如壓力、溫度），以適應(yīng)多樣化測試需求。  
電阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、
分辨率：  z小1μΩ
顯示方式：液晶顯示
BEST-300C
GB/T 1551-1995 硅、鍺單晶電阻率測定 直流兩探針法
雙刀雙撐電位選擇開關(guān)。
顯示方式：液晶顯示
試劑氫，優(yōu)級純，純水，25 ℃時電阻率大于 2 MN·cm。 
測量電壓量程：?2mV?  20mV? 200mV?2V?
品牌資質(zhì)與售后服務(wù)，避免后續(xù)使用問題。  
 選型建議明確測試需求 
值電阻（\(10^6 \sim 10^8 \Omega\)），應(yīng)選擇量程擴展能力強的儀器，并關(guān)注其誤差范圍（
料損傷或測量失真。核心功能與技術(shù)特性四端子測量法采用四端子法可消除接觸電阻的影響，
電流輸出：直流電流?0～1000mA?連續(xù)可調(diào)，由交流電源供電。
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、壓強值、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.
適用范圍四端測試法是目前較先進之測試方法，主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
在中國標準分類中，四探針法涉及到半金屬與半導(dǎo)體材料綜合、金屬物理性能試驗方法、、、電工合金零件、特種陶瓷、質(zhì)譜儀、液譜儀、能譜儀及其聯(lián)用裝置、電阻器、半導(dǎo)體集成電路、工程地質(zhì)、水文地質(zhì)勘察與巖土工程、水環(huán)境有毒害物質(zhì)分析方法、電工材料和通用零件綜合、半金屬、元素半導(dǎo)體材料、金屬無損檢驗方法。
電阻測量范圍：
例如，北廣精儀的的半導(dǎo)電電阻測試適合中高阻值測量，而需要更大電流擊穿氧化膜的場景可
探針與試樣壓力分為小于0.3 N及0.3 N~0.8N兩種。
國際標準分類中，四探針法涉及到半導(dǎo)體材料、金屬材料試驗、絕緣流體、獸醫(yī)學、復(fù)合增強材料、電工器件、無損檢測、集成電路、微電子學、土質(zhì)、土壤學、水質(zhì)、電子顯示器件、有色金屬。
下列文件中的條款通過本標準的引用商成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的z新版本。凡是不注日期的引用文件，其z新版本適用于本標準。 GB/T 1552 硅、儲單晶電阻率測定 直排四探針法
電阻測量范圍：
與維護選擇具備堅固外殼、防塵防水（如IP54等級）的儀器，適應(yīng)戶外或復(fù)雜工業(yè)環(huán)境。同時
  自動化操作高端型號  北廣精儀儀器設(shè)備公司支持自動加壓、脫模、數(shù)據(jù)采集及生成曲線圖譜，適合批量測試需求；手動型號成本較低。附加功能部分儀器集成溫度、壓強實時監(jiān)測，或支持高溫測試適用于模擬極端環(huán)境下的電性能分析。
若需同時測量土壤電阻率或泄漏電流，可考慮多功能測試儀，但需確認其是否兼容半導(dǎo)電材料
適用范圍四端測試法是目前較先進之測試方法，主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
，而常規(guī)檢測可適當放寬精度要求。測試電流適配性半導(dǎo)電材料對測試電流敏感，需根據(jù)材料